2026-07-20
เนื้อหา
ตัวกรองอากาศในห้องคลีนรูมเป็นส่วนประกอบที่ดักจับอนุภาค เส้นใย และจุลินทรีย์ในอากาศจากอากาศที่ไหลผ่านชุดกรองพัดลมหรือระบบจัดการอากาศ ทำให้ห้องคลีนรูมมีระดับความสะอาด ISO ที่ต้องการ ตัวกรองอากาศในห้องคลีนรูมส่วนใหญ่ใช้สื่อใยแก้ว HEPA หรือ ULPA ที่ได้รับการจัดอันดับที่ประสิทธิภาพ 99.97 เปอร์เซ็นต์ถึง 99.9995 เปอร์เซ็นต์ที่ 0.3 ไมครอน ควรเปลี่ยนตัวกรองเมื่อความต้านทานเพิ่มขึ้นเป็น 1.5 ถึง 2 เท่าของค่าเริ่มต้น เมื่อการสแกนการรั่วไหลของ PAO แสดงให้เห็นว่าการเจาะเกินขีดจำกัดที่กำหนด หรือเมื่อผ่านอายุการใช้งาน 3 ถึง 5 ปีตามปกติสำหรับเกรด H13 และ H14 การเปลี่ยนตัวกรองทดแทนที่จับคู่อย่างถูกต้องจะช่วยคืนการควบคุมอนุภาค สามารถลดการใช้พลังงานของพัดลมได้ 20 ถึง 30 เปอร์เซ็นต์ และป้องกันการปนเปื้อนที่เกิดจากความล้มเหลวของตัวกรอง
ตัวกรองอากาศในห้องคลีนรูมตั้งอยู่ตรงกลางของหน่วย FFU ทุกตัว ตะแกรงเพดาน และแผงปิดแผงคลีนรูมแบบโมดูลาร์ เนื่องจากชิ้นส่วนเหล่านี้เป็นวัสดุสิ้นเปลือง ทีมงานโรงงานจึงจำเป็นต้องมีกรอบงานที่ชัดเจนในการให้คะแนน กำหนดขนาด การติดตั้ง และทดสอบ แทนที่จะมองว่าการเปลี่ยนทดแทนเป็นเพียงการคาดเดา ส่วนด้านล่างนี้จะอธิบายกรอบการทำงานดังกล่าว ตั้งแต่การเลือกเกรดตัวกรองไปจนถึงการทดสอบการยอมรับหลังการแลกเปลี่ยน
ระบบห้องคลีนรูมจะสะอาดพอๆ กับเกรดตัวกรองที่อ่อนแอที่สุดที่ติดตั้งไว้เท่านั้น การจับคู่ประสิทธิภาพของตัวกรองกับคลาส ISO เป้าหมาย จะช่วยหลีกเลี่ยงทั้งการกรองน้อยเกินไปและต้นทุนที่ไม่จำเป็นจากสื่อที่ระบุมากเกินไป
| คลาสไอเอสโอ | เกรดที่แนะนำ | ประสิทธิภาพที่ 0.3um | การใช้งานทั่วไป |
| ISO 7-8 | H13 | 99.97% | เครื่องใช้ไฟฟ้าทั่วไป บรรจุภัณฑ์ การจัดการอาหาร |
| ISO6 | H14 | 99.995% | ระบบห้องคลีนรูมเภสัชกรรม, ห้องฉีดยา |
| ISO5 | H14 หรือ U15 | 99.995% - 99.9995% | บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ พื้นที่แผงคลีนรูมในห้องปฏิบัติการ |
| ISO 4-5 (ขั้นสูง) | U15 / U17 | 99.9995% - 99.999995% | การผลิตแผ่นเวเฟอร์ เลนส์ที่แม่นยำ |
โดยปกติตัวกรองประสิทธิภาพสูงของห้องคลีนรูมจะจับคู่กับหน่วยกรองพัดลม แทนที่จะทำงานภายใน AHU ส่วนกลางเพียงอย่างเดียว เนื่องจาก FFU กระจายอากาศที่กรองแล้วโดยตรงที่ระดับเพดาน และทำให้การทำงานของท่อสั้นลงที่อาจนำอนุภาคกลับมาอีกครั้ง
หน่วยกรอง FFU จะดึงอากาศในห้องหรืออากาศในอากาศผ่านขั้นตอนการกรองล่วงหน้า จากนั้นดันผ่านสื่อ HEPA หรือ ULPA ก่อนที่จะปล่อยลงด้านล่างในรูปแบบลามิเนต วัสดุจับจีบภายในตัวกรองอากาศ Cleanroom จะเพิ่มพื้นที่ผิว ซึ่งช่วยลดความเร็วของหน้าผ้าทั่วทั้งผ้า และขยายความสามารถในการกักเก็บฝุ่นก่อนที่ความต้านทานจะเพิ่มขึ้น โดยทั่วไปหน่วย FFU แบบโมดูลาร์จะใช้แพ็คจีบขนาดเล็กที่มีตัวแยกอะลูมิเนียมหรือตัวแยกแบบหลอมร้อน ปิดผนึกเข้ากับเฟรมด้วยโพลียูรีเทนหรือเจลแลนท์ เพื่อไม่ให้อากาศสามารถผ่านตัวกลางที่ข้อต่อของเฟรมได้
รายละเอียดโครงสร้างสามประการเป็นตัวกำหนดว่าตัวกรองจะมีอายุการใช้งานนานเท่าใด:
แผงและตัวกรองด้านล่างเป็นส่วนหนึ่งของกลุ่มผลิตภัณฑ์ Cleanroom แบบโมดูลาร์เดียวกัน ซึ่งสร้างขึ้นเพื่อทำงานร่วมกันบนผนังแผง ตัวเรือน FFU และรอบการเปลี่ยนตัวกรอง
การรอให้การอ่านค่าความสะอาดลดลงอย่างเห็นได้ชัด หมายความว่าตัวกรองทำงานล้มเหลวมาระยะหนึ่งแล้ว ตัวบ่งชี้ทั้งสี่นี้ตรวจพบปัญหาได้เร็วกว่าปกติ
| ตัวบ่งชี้ | ช่วงปกติ | แทนที่เมื่อใด |
| ความต้านทานเริ่มต้น (H13/H14) | 180-280 ต่อปี | ถึงค่าเริ่มต้น 1.5-2x |
| จำนวนอนุภาคขั้นปลาย | มั่นคงไม่มีดริฟท์ | จำนวน 0.5um เกินขีดจำกัดของชั้นเรียน |
| การสแกนรอยรั่วของ PAO หรือ DOP | การรุกต่ำกว่า 0.01% สำหรับ H14 | จุดสแกนใด ๆ เกินขีดจำกัด |
| เวลาดำเนินการสะสม | ภายในอายุการใช้งานการออกแบบ 3-5 ปี | ชั่วโมงที่ผ่านมาผู้ผลิตแนะนำ |
ตัวกรองอากาศคลีนรูมทดแทนจะต้องตรงกับขนาดตัวเรือน FFU ดั้งเดิม ไม่เช่นนั้นกระแสลมจะเลี่ยงผ่านสื่อผ่านช่องว่างที่เฟรม
ก่อนสั่งซื้อ การวัดตัวกรองเก่าโดยตรงและตรวจสอบกับแบบร่างของตัวเรือนจะช่วยได้มาก หรือส่งหน่วยตัวอย่างและหมายเลขชิ้นส่วนให้ซัพพลายเออร์เพื่อให้การเปลี่ยนทดแทนตรงกันทุกประการ
วิธีการติดตั้งส่งผลต่อความสมบูรณ์ของซีลพอๆ กับตัวตัวกรองเอง การเปลี่ยนแบบเร่งด่วนสามารถยกเลิกประโยชน์ของการเปลี่ยนตัวกรองที่ระบุอย่างถูกต้องได้
| ขั้นตอน | การดำเนินการ |
| 1 | ล็อคไฟ FFU สวมชุดคลีนรูม และจัดวางตัวกรองใหม่สำหรับการตรวจสอบ |
| 2 | คลายแคลมป์หรือสกรูแล้วถอดตัวกรองเก่าออกโดยไม่กระแทกภายในตัวเรือน |
| 3 | เช็ดผนังตัวเรือน พื้นผิวหน้าแปลน และร่องปิดผนึกด้วยไอโซโพรพิลแอลกอฮอล์ โดยทำความสะอาดจากด้านในออก |
| 4 | ตรวจสอบหน้าแปลนเพื่อดูการบิดเบี้ยว สนิม หรือรอยขีดข่วน และซ่อมแซมสิ่งที่เบี่ยงเบนเกิน 1 มม |
| 5 | ติดตั้งตัวกรองใหม่ให้เข้าที่โดยให้ลูกศรกระแสลมชี้เข้าไปในห้อง |
| 6 | ขันแคลมป์ให้แน่นสลับกันเป็นแนวทแยง ด้วยแรงบิดประมาณ 2-4 นิวตันเมตร |
| 7 | ติดตั้งแผ่นดิฟฟิวเซอร์หรือฟิล์มกระจายกลับเข้าที่เท่าๆ กัน |
| 8 | เปิดและตรวจสอบเสียงพัดลมบวกความเร็วหน้าอย่างน้อย 5 จุด |
| 9 | เรียกใช้การสแกนรอยรั่วของ PAO ทั่วทั้งหน้าสื่อและซีลเฟรม |
| 10 | บันทึกวันที่ กรองหมายเลขซีเรียล และความต้านทานเริ่มต้น จากนั้นติดป้ายกำกับที่เฟรม |
การแลกเปลี่ยนยังไม่เสร็จสิ้นจนกว่าการตรวจสอบเหล่านี้จะยืนยันว่าห้องได้กลับสู่ข้อกำหนดแล้ว
| ตรวจสอบ | ผ่านเกณฑ์ | ถ้ามันล้มเหลว |
| ความเร็วใบหน้า | ภายใน 15% ของความเร็วที่กำหนด ความสม่ำเสมอภายใน 20% | ปรับความเร็วพัดลมหรือตรวจสอบสิ่งกีดขวาง |
| สแกนรอยรั่วของอบจ | ต่ำกว่า 0.01% สำหรับ H14, ต่ำกว่า 0.03% สำหรับ H13 | ปิดเฟรมใหม่หรือเปลี่ยนตัวกรอง |
| ความต้านทานเริ่มต้น | ตรงกับช่วงข้อมูลจำเพาะของผู้ผลิต | ตรวจสอบ gauge calibration and tubing |
| ระดับเสียงรบกวน | ที่หรือต่ำกว่า 58 dB(A) | ตรวจสอบความสมดุลและการติดตั้งใบพัดพัดลม |
ตัวกรองและชุด FFU เดียวกันจะปรับขนาดในอุตสาหกรรมที่แตกต่างกันมาก เมื่อเกรดของสื่อและตัวเครื่องสอดคล้องกับระดับความเสี่ยง:
คุณภาพตัวกรองจะแตกต่างกันไปในซัพพลายเออร์แต่ละรายแม้ในระดับเกรดที่ระบุไว้เดียวกัน ดังนั้น รายการตรวจสอบสั้นๆ ก่อนการซื้อจะช่วยประหยัดการทำงานซ้ำในภายหลัง
แผงคลีนรูม แผงผนังคลีนรูม และประตูคลีนรูมแบบกำหนดเอง ล้วนเชื่อมต่อกับกลยุทธ์การกรองอากาศแบบเดียวกัน ดังนั้นจึงมักจะใช้แหล่งตัวกรอง แผง และส่วนประกอบ FFU จากซัพพลายเออร์รายเดียวได้ง่ายกว่า ซึ่งสามารถจับคู่หมายเลขชิ้นส่วนได้เป๊ะๆ แทนที่จะผสมแบรนด์ต่างๆ เพื่อสร้างแผงแซนด์วิชคลีนรูม